當(dāng)導(dǎo)流板固定在槽體內(nèi)時(shí)，此遮蔽部?jī)?yōu)選為位于排水孔的正上方,導(dǎo)流板的分流孔可將槽體內(nèi)往排水孔的沖洗流體先行予以分流，排水槽模具且大部分的排水孔也被分流板的遮蔽部所遮住。如此一來，可將排水的大噴流流場(chǎng)轉(zhuǎn)變成數(shù)個(gè)小噴流流場(chǎng)，而使快速排水清洗槽內(nèi)的流場(chǎng)更為均勻。因此，不僅可有效消除晶圓粘貼效應(yīng)，改善晶圓振動(dòng)現(xiàn)象，更可使排水更為順暢，進(jìn)而提升排水速度。

U型槽模具是根據(jù)對(duì)U型槽預(yù)制塊的大小進(jìn)行定制，一般混凝土U型槽模具的使用以及維護(hù)都是有規(guī)律可循的，廠家在總結(jié)這類模板使用經(jīng)驗(yàn)的時(shí)候，會(huì)按照詳細(xì)的步驟進(jìn)行。排水U型槽模具主要是以人工預(yù)制為主，因?yàn)闄C(jī)器壓制的U型槽表面粗糙，混凝土凝固程度較低，使用年限短，按照人工預(yù)制生產(chǎn)的U型槽模具，不論是制作的混凝土U型槽還是實(shí)際使用都達(dá)到了不錯(cuò)的效果

可加水速度,提出一種快速排水槽模具，可用以清洗晶圓，此快速排水清洗槽至少包括槽體，其中此槽體包括一個(gè)排水孔位于槽體的底部；以及一個(gè)使槽體的排出噴流場(chǎng)轉(zhuǎn)變成均勻流場(chǎng)的導(dǎo)流板，固定在排水孔上方的槽體上。依照本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，上述的導(dǎo)流板至少包括一個(gè)分流板
因此可將槽體內(nèi)的大噴流場(chǎng)轉(zhuǎn)變成數(shù)個(gè)小噴流場(chǎng)。是提供一種具有導(dǎo)流板的快速排水清洗槽，可改變排水的流場(chǎng)，而將排出噴流場(chǎng)轉(zhuǎn)變成均勻流場(chǎng)。因此，不僅可改善晶圓振動(dòng)現(xiàn)象，更可有效消除卵形排水槽模具效應(yīng)。是在提供一種快速排水槽模具，可將槽體內(nèi)往排水孔的流體予以分流，使排水更為滑順

U型槽模具硬度不足的原因和預(yù)防措施如下：爐或進(jìn)入冷卻槽方法不當(dāng)?shù)仍蛟斐?，?yīng)該修正工藝溫度，檢修校核控溫系統(tǒng)，裝爐時(shí)，工件間隔合理擺放均勻，分散入槽，禁止堆積或成捆入槽冷卻。淬火溫度過高，這是由工藝設(shè)置溫度不當(dāng)或控溫系統(tǒng)誤差造成，應(yīng)當(dāng)修正工藝溫度，檢修校核控溫系統(tǒng)。過回火，這是由回火溫度設(shè)置過高、控溫系統(tǒng)故障誤差或爐溫過高時(shí)入爐造成，應(yīng)當(dāng)修正工藝溫度，檢修校核控溫系統(tǒng)，不高于設(shè)置爐溫裝入。
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