可加水速度,提出一種快速排水槽模具，可用以清洗晶圓，此快速排水清洗槽至少包括槽體，其中此槽體包括一個(gè)排水孔位于槽體的底部；以及一個(gè)使槽體的排出噴流場轉(zhuǎn)變成均勻流場的導(dǎo)流板，固定在排水孔上方的槽體上。依照本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例，上述的導(dǎo)流板至少包括一個(gè)分流板
因此可將槽體內(nèi)的大噴流場轉(zhuǎn)變成數(shù)個(gè)小噴流場。是提供一種具有導(dǎo)流板的快速排水清洗槽，可改變排水的流場，而將排出噴流場轉(zhuǎn)變成均勻流場。因此，不僅可改善晶圓振動(dòng)現(xiàn)象，更可有效消除卵形排水槽模具效應(yīng)。是在提供一種快速排水槽模具，可將槽體內(nèi)往排水孔的流體予以分流，使排水更為滑順

鋼模具用到的鋼材料都是經(jīng)過挑選的，并且相對來說鋼材料加工處理的U型水槽模具是需要長期進(jìn)行施工，生產(chǎn)的時(shí)候會(huì)按照圖紙上的尺寸來進(jìn)行多次的核對，不會(huì)讓模具出現(xiàn)變形的問題。其實(shí)鋼模具只是型號比較大一些澆筑上泥漿比較的笨重，但是鋼模具使用起來卻非常的方便能夠快速的制作出U型水槽來完成施工處理。因?yàn)閁型水槽模具自身的可拆卸設(shè)計(jì)提供了非常大的便利性，在脫模的時(shí)候只需要將模具拆開，便可以直接將生產(chǎn)完成的預(yù)制件取出。

U型槽模具硬度不足的原因和預(yù)防措施如下：爐或進(jìn)入冷卻槽方法不當(dāng)?shù)仍蛟斐?，?yīng)該修正工藝溫度，檢修校核控溫系統(tǒng)，裝爐時(shí)，工件間隔合理擺放均勻，分散入槽，禁止堆積或成捆入槽冷卻。淬火溫度過高，這是由工藝設(shè)置溫度不當(dāng)或控溫系統(tǒng)誤差造成，應(yīng)當(dāng)修正工藝溫度，檢修校核控溫系統(tǒng)。過回火，這是由回火溫度設(shè)置過高、控溫系統(tǒng)故障誤差或爐溫過高時(shí)入爐造成，應(yīng)當(dāng)修正工藝溫度，檢修校核控溫系統(tǒng)，不高于設(shè)置爐溫裝入。

當(dāng)導(dǎo)流板固定在槽體內(nèi)時(shí)，此遮蔽部優(yōu)選為位于排水孔的正上方,導(dǎo)流板的分流孔可將槽體內(nèi)往排水孔的沖洗流體先行予以分流，排水槽模具且大部分的排水孔也被分流板的遮蔽部所遮住。如此一來，可將排水的大噴流流場轉(zhuǎn)變成數(shù)個(gè)小噴流流場，而使快速排水清洗槽內(nèi)的流場更為均勻。因此，不僅可有效消除晶圓粘貼效應(yīng)，改善晶圓振動(dòng)現(xiàn)象，更可使排水更為順暢，進(jìn)而提升排水速度。
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